并在第二处理装置tl2的装载端口lp、第二保管部20b、以及第二交接端口30b之间搬运物品2。例如,在通过高架搬运车50将物品2载置于第1交接端口30a或者第二交接端口30b的情况下,第1起重机40a能够移动至第1交接端口30a而通过第1移送部44a(参照图4)接收物品2,第二起重机40b能够移动至第二交接端口30b而通过第二移送部44b(参照图4)接收物品2。其后,第1起重机40a能够行驶至第1处理装置tl1的装载端口lp或者第1保管部20a,将物品2载置于第1处理装置tl1的装载端口lp或者第1保管部20a。另外,第1起重机40a能够通过第1移送部44a接收被第1保管部20a保管的物品2,行驶至第1处理装置tl1的装载端口lp或者第1交接端口30a,通过第1移送部44a将物品2载置于第1处理装置tl1的装载端口lp或者第1交接端口30a。第二起重机40b能够行驶至第二处理装置tl2的装载端口lp或者第二保管部20b,将物品2载置于第二处理装置tl2的装载端口lp或者第二保管部20b。另外,第二起重机40b能够通过第二移送部44b接收被第二保管部20b保管的物品2,行驶至第二处理装置tl2的装载端口lp或者第二交接端口30b,通过第二移送部44b将物品2载置于第二处理装置tl2的装载端口lp或者第二交接端口30b。另外。雨花台区粉尘真空搬运机推荐厂家!静安区室内深加工真空搬运机哪家的好
并使转动部件围绕上下方向的轴进行转动。转动部通过来自转动驱动部的驱动力而转动,能够使升降驱动部54或者保持部53围绕上下方向的轴进行转动。通过该转动部能够将被保持部53保持的物品2的朝向改变。此外,高架搬运车50也可以不具备转动部。图6是表示第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51的一个例子的图。第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51例如采用共用的结构(同一结构或者大致同一结构)。另外,对于顶棚轨道10中的第1区段内顶棚轨道11、第二区段内顶棚轨道12、第1区段间顶棚轨道13、以及第二区段间顶棚轨道14而言,与行驶方向正交的平面的截面相同或者大致相同,第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51中的任一者均能够行驶。这样,由于第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51共用,因此无需按照其他结构制造第1、第二行驶部41a、41b与行驶部51,能够减少第1、第二起重机40a、40b和高架搬运车50的制造成本。第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51具有:多个车轮71a,它们与顶棚轨道10的下方的内表面抵接;和行驶部主体71b,其安装有上述多个车轮71a。行驶部主体71b具备用于驱动车轮71a的行驶驱动部、和各种传感器。顶棚轨道10具备供电部70。溧阳真空搬运机哪家有江宁区包装袋真空搬运机推荐厂家!
轻型真空搬运机的制作方法技术领域:本实用新型提供一种轻型真空搬运机,属于搬运机的技术领域。背景技术:现有的搬运机,不只只能适用于大型物体的搬运,且结构复杂,制造成本高。发明内容为解决上述问题,本实用新型提供一种适用于小型物体的搬运,且结构简单、制造成本低的轻型真空搬运机。为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案为一种轻型真空搬运机,包括立柱、支柱、旋臂、斜拉杆、真空泵、连接管、搬运管、真空吸盘装置;支柱包括套置在固定柱外壁上的旋转轴套,固定柱固定在立柱的上端,旋臂一端直接与旋转轴套固定连接,另一端则通过斜拉杆与旋转轴套固定连接;连接管一端与真空泵连通,另一端与搬运管连通,真空吸盘装置安装在搬运管的底端,搬运管滑动连接安装在旋臂上。作为上述方案的进一步设置,所述固定柱通过上盖和下盖固定在立柱上。所述固定柱与旋转轴套之间且由上而下依次安装有并帽、垫圈、上轴承、下轴承。所述旋臂一端直接与旋转轴套的下端固定连接,另一端则通过斜拉杆与旋转轴套的上端固定连接。所述旋臂的下端面上开设有导轨,搬运管的顶端与导轨滑动连接。所述导轨上还滑动连接有数个挂钩,靠近搬运管端的连接管通过挂钩安装在旋臂上。
第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二保管区域sa2。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于第1区段内顶棚轨道11的下方且侧方。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二区段内顶棚轨道12的下方且侧方。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于在第1区段内顶棚轨道11能够通过后述的第1起重机40a和高架搬运车50进行物品2的交接的范围。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于在第二区段内顶棚轨道12能够通过后述的第二起重机40b和高架搬运车50进行物品2的交接的范围。图3是表示第1、第二保管区域sa1、sa2的第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的一个例子的图。在图3中示出从+x侧观察第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的情况的一个例子。如图3所示,第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b使用能够载置物品2的架部等。在载置物品2的架部也可以设置进入在物品2的底面设置的槽部的多个销。该销进入物品2的槽部,由此相对于架部定位物品2。各第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b例如被支承为从建筑物的顶棚等悬挂的状态。第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b从顶棚悬挂。雨花台区多功能真空搬运机推荐厂家!
但本发明并不限定于上述的说明,在不脱离本发明的主旨的范围内能够进行各种变更。例如,在上述的搬运系统100中,也可以在高架搬运车50的移动路径中配置储料机(自动仓库)等。储料机例如可以设置于第1区段间顶棚轨道13和第二区段间顶棚轨道14中的任一方或者双方。高架搬运车50可以能够针对该储料机的交接端口进行物品2的交接,例如,能够在储料机与第1、第二交接端口30a、30b之间搬运物品2。另外,在法律法规允许的范围内,引用作为日本申请的日本特愿2017-128570、和在本说明书中引用的全部文献的内容作为本文记载的一部分。附图标记说明sa1…第1保管区域;sa2…第二保管区域;ta1…第1装置区域;ta2…第二装置区域;lp…装载端口;tl1…第1处理装置;tl2…第二处理装置;2…物品;2a…凸缘部;10…顶棚轨道;11…第1区段内顶棚轨道;12…第二区段内顶棚轨道;13…第1区段间顶棚轨道;14…第二区段间顶棚轨道;15…第1连接轨道;16…第二连接轨道;20a…第1保管部;20b…第二保管部;30a…第1交接端口;30b…第二交接端口;40a…第1起重机;40b…第二起重机;41a…第1行驶部;41b…第二行驶部;42a…第1桅杆;42b…第二桅杆;43a…第1升降台;43b…第二升降台。六合区多功能真空搬运机推荐厂家!溧阳真空搬运机哪家有
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本发明涉及搬运系统以及搬运方法。背景技术:在半导体制造工厂等制造工厂中,为了将收容半导体晶圆的foup或者收容中间掩模的中间掩模盒(reticlepod)等物品在处理装置的装载端口、保管部以及交接端口之间进行搬运,提出有使用沿着铺设于顶棚的轨道行驶的高架搬运车、和沿着与高架搬运车的轨道地铺设于地板面的轨道行驶的起重机的结构(例如,参照文献1)。文献1:日本第5880693号公报文献1中记载的高架搬运车和起重机均能够访问装载端口、保管部以及交接端口,但由于在不同的轨道行驶,因此需要与高架搬运车和起重机对应地,分别设置顶棚的轨道和地板面的轨道。因此,存在不仅对轨道的设置花费成本,需要用于铺设各轨道的空间,而且需要使处理装置或者保管部等的设置位置与两个轨道对应,因此对处理装置等的布局产生限制的问题。技术实现要素:本发明的目的在于提供能够通过将供高架搬运车和起重机行驶的轨道共用化而减少轨道的设置成本,并且分担高架搬运车与起重机的作用,由此高效地搬运物品的搬运系统以及搬运方法。本发明所涉及的搬运系统具备:第1区段内顶棚轨道,其从第1处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第1处理装置的装载端口设置;第二区段内顶棚轨道。静安区室内深加工真空搬运机哪家的好